洁净厂房气体管道的设计、施工、管理，完全不同于一般的工业气体管道，其中任何一个环节稍有不慎，便可能破坏输配气体的质量，从而损失极其昂贵的产品，甚至造成严重的灾难。本措施便对洁净厂房设计、施工、管理过程中，应当遵循的基本要求—— “气体输配管道的洁净技术”，严肃认真、一丝不苟地重视各个细微环节，有效的建成保证工艺用气要求的管道系统。
1 输配管道洁净技术的一般概念
1.1高纯、洁净气体输配管道，系指对输送气体的“三度”有一定的要求或控制。气体纯度—气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数来表示，如：99．9999％ ，也用杂质气氛含量的体积比ppm、ppb、ppt表示。干燥度——气体中微量水分的含量，或称之为含湿量，
通常以露点表示，如常压露点一70℃。洁净度——气体中含有污染物粒子的数量，粒径为tun的粒子，多少~_／ms。对于压缩空气，通常也用不可避免的固体残留物的多少mr／ms来表示，其中涵盖了含油量。
1.2 高纯、洁净气体管道，通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等级，我国【洁净厂房设计规范GB5(~3—2001】中，直接等效地使用国际标准【IS014644—1】
1.3 高纯、洁净气体管道，通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等级，我国【洁净厂房设计规范GB5(~3—2001】中，直接等效地使用国际标准【IS014644—1】
2准确无误地安装施工
高纯度、高洁净度气体管道的施工，不同于一般工业管道，稍有疏忽，便可能破坏输送气体的质量。因此，要理解安装工作对保证气体质量的重大意义，严格遵守设计、施工要求，工作中严肃认真、一丝不苟，高度重视各个细小环节，建成符合要求的管路系统。
2.1 外观的检查工作
(1)管路系统的管材、阀门及所有附件，必须严格按照设计要求选用，不得随意更改或代换。
(2)所用管材到货后，应放在室内精心保管，不得露天堆放，更不得日晒和风吹雨淋。
(3)管段端头要有塑料或橡胶的密封罩盖加以密封，不得脱落、破裂。
(4)管子、管件、阀门等，使用前，详实地进行下列外观
检查：
●无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。
●无锈蚀、锈斑等现象。
●管子应当平直、圆滑、无局部凹陷、无压人物，无刮伤、
碰伤、挤压等缺陷。
●管材内表面的“粗糙度”是否与设计要求相符，螺纹处
密封、保护是否良好。
（6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装
前按有关要求进行严格脱脂。
2.2 管路系统的安装
(1)配管支架的安装间距不宜过大，不得采用吊架、弹簧支架、柔性支撑等固定方式，以防止启动时的气流冲击和引起管道的震动，造成脱落粒子污染气体。管道支架，穿楼板等方式，参照后面图中的方式进行组配.(2)管路的转弯处，应采取平整、圆滑的弯管过渡，弯管的半径应以5倍管道直径为宜(成品铸造弯管或成品机加弯管除外)。不得采用皱波弯头和焊接弯头，现场弯管应当采用冷弯，不得采用热弯。(3)管道必要的螺纹连接处，螺纹表面的粗糙度不得大于12．5,um，同时螺纹的表面不得有机械损伤或断面不完整状况。(4)卡套连接时，注意对其相应管端头密封面的螺纹、密封面、端El、切El的保护，不得出现碰、砸、压、挤、刮、划等缺陷，安装时不得用铁锤敲打，保证管道的平整、圆滑。(5)管路的连接，原则上采用焊接，但防止直接对焊，焊接应采用管套或成品接头。管套应选用与管材同等
材料和内面光滑度等级。管路各部位的几何尺寸避免过大，尤其套管与管材的结合部，其间隙一定不能过大，与管材的重叠部分也不宜过长，较为合适的尺寸见。重叠部分的长度以5—8 硼为宜，同时，套管内径加工时，应使管材管径过盈，安装对接时，用木锤轻敲套管，
使其紧套在前段管头上，此刻便可施焊。然后用同样办法将下段管头插入套管内。这样，焊接时不仅焊渣不会落入管内，克服了由于重叠部分太长，间隙过大而造成的气体死角— —盲区，避免了由于水分、粒状物或杂质气氛进入此狭缝内，在再次投入运行时便会在纯净气流的裹胁下，一点一点地向洁净气流内排放，从而污染洁净气体。
在一些微电子产品的生产工艺中，由于铜的化合物容易产生器件电阻，所以用于处理砷化镓等工艺系统是不妥当的，对这类系统只能采用不锈钢管材。 |
